日本SMC真空泵的特點：
(1)在較寬的壓力范圍內有較大的抽速；
(2)轉子具有良好的幾何對稱性，故振動小，運轉平穩。轉子間及轉子和殼體間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可大大降低驅動功率，從而可實現較高轉速；
(3)泵腔內無需用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對真空系統的污染；
(4)泵腔內無壓縮，無排氣閥。結構簡單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感；
(5)壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差；
(6)轉(zhuan)子表面(mian)為(wei)形狀較為(wei)復雜的曲線柱(zhu)面(mian)，加工和檢查比(bi)較困難。

日本SMC真空泵的操作流程：
1、操作(zuo)前的準備工(gong)作(zuo)：

首先應將設備放置在水平、通風、干燥處，將真空機組抽氣口與被抽系統連接好，密封一定要嚴密，不應有泄漏點存在。檢查真空泵和羅茨泵內的油位及油杯中的潤滑油是否符合要求，連接好電源線和接地線。檢查是否有其他不安全因素。
2、操(cao)作機組(zu)的啟動(dong)運行：

接(jie)通(tong)主(zhu)電源(yuan)(yuan)(yuan)開關，主(zhu)電源(yuan)(yuan)(yuan)指示燈亮(liang)；將控制方式(shi)放在手(shou)動或自(zi)動位置(zhi)；按(an)下控制電源(yuan)(yuan)(yuan)按(an)鈕(niu)(niu)，指示燈亮(liang)(真空(kong)(kong)泵(beng)、增壓泵(beng)和急停按(an)鈕(niu)(niu)應復(fu)位，否則(ze)控制電源(yuan)(yuan)(yuan)按(an)鈕(niu)(niu)無法接(jie)通(tong))，如電源(yuan)(yuan)(yuan)相序錯(cuo)誤黃色指示燈亮(liang)，則(ze)需換相。將真空(kong)(kong)泵(beng)斷(duan)路器(qi)接(jie)通(tong)，按(an)下真空(kong)(kong)泵(beng)控制按(an)鈕(niu)(niu)，真空(kong)(kong)泵(beng)指示燈亮(liang)，同時真空(kong)(kong)泵(beng)運轉。

根據實際情況調節增壓泵的延時(通過時間繼電器，調節范圍在1—6分鐘)。將增壓泵斷路器接通，按下增壓泵控制按鈕，增壓泵指示燈亮，同時增壓泵運轉。油井內設有油位開關，當油井進人真空泵油或變壓器油時控制面板上的蜂嗚器將自動報警，同時系統關閉。
3、關機停運：

關(guan)(guan)閉(bi)(bi)高真(zhen)(zhen)空蝶閥一(yi)(yi)關(guan)(guan)閉(bi)(bi)機(ji)械增(zeng)壓泵一(yi)(yi)關(guan)(guan)閉(bi)(bi)真(zhen)(zhen)空泵一(yi)(yi)按急停按鈕(niu)，控(kong)(kong)制電(dian)(dian)源關(guan)(guan)閉(bi)(bi)一(yi)(yi)關(guan)(guan)主電(dian)(dian)源斷路(lu)器。當控(kong)(kong)制方式(shi)通過控(kong)(kong)制盤(pan)上(shang)的(de)旋鈕(niu)轉(zhuan)換到自動位置時，設(she)備將通過真(zhen)(zhen)空繼電(dian)(dian)器的(de)預設(she)控(kong)(kong)制點自動控(kong)(kong)制真(zhen)(zhen)空泵和(he)機(ji)械增(zeng)壓泵的(de)關(guan)(guan)閉(bi)(bi)和(he)啟動。