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HEIDENHAIN光(guang)(guang)(guang)柵(zha)(zha)尺(chi)分為封閉式光(guang)(guang)(guang)柵(zha)(zha)尺(chi)和(he)(he)敞開式光(guang)(guang)(guang)柵(zha)(zha)尺(chi)。封閉式光(guang)(guang)(guang)柵(zha)(zha)尺(chi)可(ke)以有效防塵防切屑和(he)(he)防飛濺(jian)的(de)切削(xue)液,是用(yong)于機(ji) 床的(de)理(li)想選擇。敞開式直線光(guang)(guang)(guang)柵(zha)(zha)尺(chi)設(she)計用(yong)于需要高(gao)精(jing)(jing)度測(ce)(ce)量的(de)機(ji)床和(he)(he)系統,典型應用(yong)包(bao)括:半導體(ti)工業的(de)測(ce)(ce)量和(he)(he)生產設(she)備(bei),PCB電(dian)路板組(zu)裝機(ji),超精(jing)(jing)密機(ji)床,高(gao)精(jing)(jing)度機(ji)床,測(ce)(ce)量機(ji)和(he)(he)比(bi)較儀,測(ce)(ce)量顯微鏡和(he)(he)其(qi)它精(jing)(jing)密測(ce)(ce)量設(she)備(bei),直接驅動。
光(guang)(guang)(guang)(guang)柵(zha)(zha)尺(chi)(chi)(chi),也(ye)稱為(wei)光(guang)(guang)(guang)(guang)柵(zha)(zha)尺(chi)(chi)(chi)位移(yi)傳感器(光(guang)(guang)(guang)(guang)柵(zha)(zha)尺(chi)(chi)(chi)傳感器),是利用(yong)光(guang)(guang)(guang)(guang)柵(zha)(zha)的(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)學原(yuan)理工作(zuo)的(de)(de)測量(liang)反饋裝置。光(guang)(guang)(guang)(guang)柵(zha)(zha)尺(chi)(chi)(chi)經常(chang)應用(yong)于數(shu)(shu)控機床(chuang)的(de)(de)閉環(huan)伺服系統中(zhong),可用(yong)作(zuo)直線(xian)位移(yi)或者角(jiao)位移(yi)的(de)(de)檢測。其測量(liang)輸出的(de)(de)信號為(wei)數(shu)(shu)字脈(mo)沖,具有檢測范圍大,檢測精(jing)度(du)高,響(xiang)應速度(du)快的(de)(de)特點(dian)。例如,在數(shu)(shu)控機床(chuang)中(zhong)常(chang)用(yong)于對(dui)刀具和(he)(he)工件的(de)(de)坐標進行檢測,來觀察和(he)(he)跟蹤走(zou)刀誤(wu)差,以(yi)起到一個補償刀具的(de)(de)運動誤(wu)差的(de)(de)作(zuo)用(yong)。光(guang)(guang)(guang)(guang)柵(zha)(zha)尺(chi)(chi)(chi)按照制(zhi)造方(fang)法和(he)(he)光(guang)(guang)(guang)(guang)學原(yuan)理的(de)(de)不同,分為(wei)透射光(guang)(guang)(guang)(guang)柵(zha)(zha)和(he)(he)反射光(guang)(guang)(guang)(guang)柵(zha)(zha)。
海德漢(han)光(guang)(guang)柵(zha)(zha)尺以透射光(guang)(guang)柵(zha)(zha)為例(li),當(dang)指示(shi)光(guang)(guang)柵(zha)(zha)上的(de)(de)(de)線(xian)紋(wen)和標尺光(guang)(guang)柵(zha)(zha)上的(de)(de)(de)線(xian)紋(wen)之(zhi)間(jian)(jian)形成(cheng)一個小角度θ,并(bing)且兩(liang)個HEIDENHAIN海德漢(han)光(guang)(guang)柵(zha)(zha)尺刻面相對平行放置(zhi)時,在光(guang)(guang)源(yuan)的(de)(de)(de)照射下,位于幾乎垂(chui)直(zhi)的(de)(de)(de)柵(zha)(zha)紋(wen)上,形成(cheng)明暗(an)相間(jian)(jian)的(de)(de)(de)條紋(wen)。這種(zhong)條紋(wen)稱為“莫(mo)爾(er)條紋(wen)" 。嚴格地說,莫(mo)爾(er)條紋(wen)排列的(de)(de)(de)方向是與兩(liang)片光(guang)(guang)柵(zha)(zha)線(xian)紋(wen)夾角的(de)(de)(de)平分線(xian)相垂(chui)直(zhi)。莫(mo)爾(er)條紋(wen)中(zhong)兩(liang)條亮(liang)紋(wen)或兩(liang)條暗(an)紋(wen)之(zhi)間(jian)(jian)的(de)(de)(de)距(ju)離稱為莫(mo)爾(er)條紋(wen)的(de)(de)(de)寬度,以W表示(shi)。
W=ω /2* sin(θ /2)=ω /θ 。[1]
莫爾條紋具有(you)以下特征:
(1)莫爾條紋的變化規律
兩片光柵相對移過一(yi)個(ge)柵距,莫(mo)爾條(tiao)紋(wen)移過一(yi)個(ge)條(tiao)紋(wen)距離。由于光的衍射與(yu)干涉作用,莫(mo)爾條(tiao)紋(wen)的變(bian)化規(gui)律近似(si)正(余)弦函數(shu),變(bian)化周(zhou)期數(shu)與(yu)光柵相對位移的柵距數(shu)同步。
(2)放大(da)作用
在兩光柵(zha)柵(zha)線夾角較小(xiao)的情況下(xia),莫爾(er)條(tiao)紋寬度W和光柵(zha)柵(zha)距ω、柵(zha)線角θ之間有(you)下(xia)列關(guan)系(xi)。式(shi)中,θ的單(dan)位為rad,W的單(dan)位為mm。由于傾(qing)角很小(xiao),sinθ很小(xiao),則
W=ω /θ
若ω =0.01mm,θ=0.01rad,則上式可得W=1,即光柵放大了*倍(bei)。
(3)均化(hua)誤差作用
莫爾條(tiao)紋(wen)是由若干光柵條(tiao)紋(wen)共用(yong)形成(cheng),例如(ru)每毫米*線的光柵,10mm寬度的莫爾條(tiao)紋(wen)就有(you)*0條(tiao)線紋(wen),這樣柵距(ju)之間的相鄰誤差就被平均化了,消除了由于柵距(ju)不均勻、斷裂等造成(cheng)的誤差。
HEIDENHAIN光柵線533631-05
HEIDENHAIN光柵電纜帶接頭533631-01
HEIDENHAIN備件ID 662 636-02
HEIDENHAIN編碼器366864-04
HEIDENHAIN編碼器631703-07 ROQ42451227S17-E0 SN:39154592B
HEIDENHAIN光柵尺LS476 ID-Nr:329988-2Y
HEIDENHAIN編碼器586653-06
HEIDENHAIN光柵尺689680-17
HEIDENHAIN主軸測量環ERM 180/280 ID:390925-14
HEIDENHAIN編碼器589 614-5B
HEIDENHAIN編碼器ID 597 331-06 SN:42760112 D
HEIDENHAIN編碼器DSLHEI746721-06
HEIDENHAIN編碼器385502-09
HEIDENHAIN編碼器線533631-01
HEIDENHAIN編碼器521291-04
HEIDENHAIN編碼器ID:533110-01
HEIDENHAIN編碼器DSLHEI746721-01
HEIDENHAIN光柵尺LS186ML1440ID.NR.336960-50
HEIDENHAIN光柵526974-07
HEIDENHAIN編碼器385489-08
光柵尺 LC485 =270 689680-05
光柵尺 LC195F ML=240 760907-02
光柵尺 LC185 ML=1040 689697-10
光柵(zha)尺 LC185 ML=840 689697-08
光柵尺 LC185 ML=440 689697-04
光(guang)柵尺 LC185 ML=240 689697-02
讀(du)數頭 AK ERM2280 2800 1144028-03
光(guang)柵(zha)尺 LC485 ML=170 689680-03
光柵尺 LC485 ML=220 689680-04
光柵尺 LF183C ML1040mm ID 348226-19
光柵尺 LS406.ML320 ID329 982 -21.帶(dai)線3米(mi)
光柵尺 LC195F ML=240 760907-02
光柵尺 LC195M=840 760920-08
HEIDENHAIN光柵尺LS 187C ML=2040(527392-19)